[实用新型]研磨垫拆卸工具有效
| 申请号： | 201220033983.5 | 申请日： | 2012-02-02 |
| 公开（公告）号： | CN202438921U | 公开（公告）日： | 2012-09-19 |
| 发明（设计）人： | 弓艳霞 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（上海）有限公司 |
| 主分类号： | B24B53/017 | 分类号： | B24B53/017 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 201203 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种研磨垫拆卸工具，包括空心的圆筒、沿所述圆筒轴向设置的研磨垫自锁机构、沿所述圆筒的轴向移动的复位顶销以及固定连接于所述圆筒的端盖的把手，所述圆筒的侧壁沿圆筒的轴向开设有供研磨垫穿入的槽，所述研磨垫自锁机构设置于所述圆筒内部，所述复位顶销的一端伸出所述圆筒的端盖，所述复位顶销的另一端位于所述研磨垫自锁机构的侧部。本实用新型提供的研磨垫拆卸工具，简单便利、易于操作，通过研磨垫自锁机构和复位顶销，可以实现对研磨平台上的研磨垫的快速、有效拆卸，省时省力，有效提高了工作效率。 | ||
| 搜索关键词： | 研磨 拆卸 工具 | ||
【主权项】：
一种研磨垫拆卸工具，其特征在于，包括空心的圆筒、沿所述圆筒轴向设置的研磨垫自锁机构、沿所述圆筒的轴向移动的复位顶销以及固定连接于所述圆筒的端盖的把手，所述圆筒的侧壁沿圆筒的轴向开设有供研磨垫穿入的槽，所述研磨垫自锁机构设置于所述圆筒内部，所述复位顶销的一端伸出所述圆筒的端盖，所述复位顶销的另一端位于所述研磨垫自锁机构的侧部。
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