[实用新型]一种铜电沉积自动控制装置有效
申请号: | 201220034344.0 | 申请日: | 2012-02-03 |
公开(公告)号: | CN202492589U | 公开(公告)日: | 2012-10-17 |
发明(设计)人: | 唐智荣;刘正义;崔磊;何世武;李建光 | 申请(专利权)人: | 昆山市洁驰环保科技发展有限公司 |
主分类号: | C25C1/12 | 分类号: | C25C1/12;C25C7/00 |
代理公司: | 南京经纬专利商标代理有限公司 32200 | 代理人: | 曹毅 |
地址: | 215000 江苏省苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型提供一种铜电沉积自动控制装置,包括如下结构:电沉积槽、整流母线铜排、整流器和智能计时器,所述电沉积槽和整流器之间通过整流母线铜排连接,所述整流器与智能计时器之间通过数据电源线连接,其中所述电沉积槽中有可以电沉积出阴极铜的药水,整流器提供合适的铜电沉积直流电流,整流母线铜排提供电解电流回路,智能计时器提供随时间自动衰减的线性输出信号。与传统的操作人员手动控制铜电沉积电流的方法的本质区别是,本实用新型的特点采用全自动控制铜电沉积直流电流的方法,使铜沉积产能与品质稳定可靠,系统操作便捷。 | ||
搜索关键词: | 一种 沉积 自动控制 装置 | ||
【主权项】:
一种铜电沉积自动控制装置,其特征在于,包括如下结构:电沉积槽(1)、整流母线铜排(2)、整流器(3)和智能计时器(4),所述电沉积槽(1)和整流器(3)之间通过整流母线铜排(2)连接,所述整流器(3)与智能计时器(4)之间通过数据电源线连接。
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