[实用新型]一种适用于制备高亮度LED的蓝宝石图形衬底的光刻版有效
| 申请号： | 201220040821.4 | 申请日： | 2012-02-08 |
| 公开（公告）号： | CN202434562U | 公开（公告）日： | 2012-09-12 |
| 发明（设计）人： | 张雷;于国建;郝霄鹏;胡小波;徐现刚 | 申请（专利权）人： | 山东天岳先进材料科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L33/00 | 分类号： | H01L33/00 |
| 代理公司： | 济南金迪知识产权代理有限公司 37219 | 代理人： | 吕利敏 |
| 地址： | 250000 山东省*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种适用于制备高亮度LED的蓝宝石图形衬底的光刻版，其包括透光区域和不透光区域，所述的不透光区域呈正方形，且在透光区域内呈多行排列：同行之间，正方形不透光区域等距排列；相邻行之间，正方形不透光区域呈错位等距排列。应用本实用新型的光刻版所制备的蓝宝石图形衬底，在进行GaN外延生长时，能够降低GaN晶体相互连接时由于晶面不连续形成的位错，提高外延GaN晶体的质量，进而制备出高亮度的LED。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 适用于 制备 亮度 led 蓝宝石 图形 衬底 光刻 | ||
【主权项】：
一种适用于制备高亮度LED的蓝宝石图形衬底的光刻版，包括透光区域和不透光区域，其特征在于，所述的不透光区域呈正方形，且在透光区域内呈多行排列：同行之间，正方形不透光区域等距排列；相邻行之间，正方形不透光区域呈错位等距排列。
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