[实用新型]一种用于硅铸锭炉内的坩埚保护装置有效
申请号: | 201220043298.0 | 申请日: | 2012-02-10 |
公开(公告)号: | CN202465943U | 公开(公告)日: | 2012-10-03 |
发明(设计)人: | 李乔;马远;王明德 | 申请(专利权)人: | 浙江碧晶科技有限公司 |
主分类号: | C30B11/00 | 分类号: | C30B11/00;C30B29/06;F27B14/14 |
代理公司: | 杭州天勤知识产权代理有限公司 33224 | 代理人: | 胡红娟 |
地址: | 312300 浙江省*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种用于硅铸锭炉内的坩埚保护装置,由若干块坩埚护板和一块坩埚盖板构成,所述坩埚护板为平板状,位于所述硅铸锭炉内的石英坩埚的四周;所述坩埚盖板为平板状,位于所述硅铸锭炉内的石英坩埚的上方,所述坩埚盖板上还设有导气口,用于导入保护气体的气流;其中,所述坩埚护板由护板主体和不挥发碳元素表层构成,所述坩埚盖板由盖板主体和不挥发碳元素底层构成,所述不挥发碳元素表层、不挥发碳元素底层与石英坩埚壁面及石英坩埚中硅料表面围成内部空腔。本实用新型结构简单、安装方便、使用安全,应用在硅铸锭生产过程中,能有效地防止热场中的碳元素导入到硅料中,从而有效地降低铸锭产品中碳元素含量。 | ||
搜索关键词: | 一种 用于 铸锭 坩埚 保护装置 | ||
【主权项】:
一种用于硅铸锭炉内的坩埚保护装置,由若干块坩埚护板和一块坩埚盖板构成;所述坩埚护板为平板状,位于所述硅铸锭炉内的石英坩埚的四周;所述坩埚盖板为平板状,位于所述硅铸锭炉内的石英坩埚的上方,并由所述坩埚护板支撑,所述坩埚盖板上还设有导气口,用于导入保护气体的气流;其特征在于,所述坩埚护板由护板主体和不挥发碳元素表层构成,所述坩埚盖板由盖板主体和不挥发碳元素底层构成,所述不挥发碳元素表层、不挥发碳元素底层与石英坩埚壁面及石英坩埚中硅料表面围成内部空腔。
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