[实用新型]真空镀膜用的输入电极自动接合机构

摘要

本实用新型公开一种真空镀膜用的输入电极自动接合机构，包括固定电极、动电极、射频接入件和气动件，固定电极与真空室的室腔固定连接，动电极设于固定电极下方，动电极伸入真空室的外壁，动电极与真空室外壁的相接处设有密封件，密封件外周依次设置水冷套和绝缘套，动电极下端设置射频接入件，动电极下端通过绝缘隔离件与气动件连接，固定电极外周设有上屏蔽件，动电极外周设有下屏蔽件。本输入电极自动接合机构采用气动件(包括气缸形式等)驱动使固定电极和动电极自动接合，将其应用于等离子增强化学气相沉积工艺，可有效提高生产效率；同时，减少人工操作，有效降低生产成本。

主权项

真空镀膜用的输入电极自动接合机构，其特征在于，包括固定电极、动电极、射频接入件和气动件，固定电极与真空室的室腔固定连接，动电极设于固定电极下方，动电极伸入真空室的外壁，动电极与真空室外壁的相接处设有密封件，密封件外周依次设置水冷套和绝缘套，动电极下端设置射频接入件，动电极下端通过绝缘隔离件与气动件连接，固定电极外周设有上屏蔽件，动电极外周设有下屏蔽件。