[实用新型]一种单晶硅生长炉用保温隔热筒有效
| 申请号： | 201220075587.9 | 申请日： | 2012-03-02 |
| 公开（公告）号： | CN202323103U | 公开（公告）日： | 2012-07-11 |
| 发明（设计）人： | 闫根程;栾吉刚;刘玉清;赵启民 | 申请（专利权）人： | 烟台鲁航炭材料科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/00 | 分类号： | C30B15/00;C30B29/06 |
| 代理公司： | 北京轻创知识产权代理有限公司 11212 | 代理人： | 杨立 |
| 地址： | 264006 山东*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种单晶硅生长炉用保温隔热筒，其包括外保温筒，其特征在于，在所述外保温筒的内壁设有内隔热屏，所述内隔热屏由炭/炭复合材料制成。所述内隔热屏包括依次套接的至少两个以上的分段隔热屏。所述各分段隔热屏之间设有止口或坡口连接结构，所述各分段隔热屏之间还可以通过连接环连接。优选方案是所述内隔热屏包括三个分段隔热屏，依次为上段隔热屏、中段隔热屏及下段隔热屏，所述下段隔热屏上设有通孔，所述外保温筒由石墨毡或炭毡制成。本实用新型用于单晶硅生长炉具有较高的高温强度，和较低的热导系数。不仅降低了保温隔热筒厚度，而且降低了保温隔热筒的更换成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 单晶硅 生长 保温 隔热 | ||
【主权项】：
一种单晶硅生长炉用保温隔热筒，包括外保温筒，其特征在于，在所述外保温筒的内壁设有内隔热屏，所述内隔热屏由炭/炭复合材料制成。
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