[实用新型]具有加热媒介的薄膜沉积设备

摘要

本实用新型公开了一种具有加热媒介的薄膜沉积设备，所述薄膜沉积设备用来在基板表面沉积薄膜，所述薄膜沉积设备具有间隔交替放置的复数个接地电极板和激励电极板，所述基板安装在接地电极板上，其特征在于：所述加热媒介位于所述复数个电极板之间，或位于激励电极板表面，或位于所述复数个电极板的周围。本实用新型的具有加热媒介的薄膜沉积设备能够将所需的加热工序整合到沉积工艺当中，在沉积工艺过程中根据需要随时对基板进行加热，提高了工艺可靠性和稳定性以及生产效率，降低了对基板造成污染的几率。

主权项

一种具有加热媒介的薄膜沉积设备，所述薄膜沉积设备用来在基板表面沉积薄膜，所述薄膜沉积设备具有间隔交替放置的复数个接地电极板和激励电极板，所述基板安装在接地电极板上，其特征在于：所述加热媒介位于所述复数个电极板之间，或位于激励电极板表面，或位于所述复数个电极板的周围。