[实用新型]晶舟架有效

专利信息
申请号: 201220082493.4 申请日: 2012-03-07
公开(公告)号: CN202523696U 公开(公告)日: 2012-11-07
发明(设计)人: 吕保仪;简克志;潘冠纶 申请(专利权)人: 家登精密工业股份有限公司
主分类号: H01L21/683 分类号: H01L21/683
代理公司: 中科专利商标代理有限责任公司 11021 代理人: 周长兴
地址: 中国台*** 国省代码: 中国台湾;71
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摘要: 一种晶舟架,包括:一第一板体及一第二板体,复数个柱体,连接第一板体及第二板体,复数个支撑柱体,连接第一板体及第二板体,在第一板体及一第二板体的侧边配置复数个插入栓,固定板体及柱体,防止晶舟架结构松脱,具有二次防落功能,并于柱体上配置复数个相对的分隔部,每一分隔部系相对排列配置,可防止印痕过大的产生,提升园片或玻璃基板的良率,减少成本的损失。
搜索关键词: 晶舟架
【主权项】:
一种晶舟架,包括:一第一板体及一相对的第二板体,该第一板体及该第二板体的一面上形成复数个相对的凹槽,复数个柱体,该柱体两端形成一第一套件,该第一套件插入该第一板体及该第二板体的该凹槽内,连接该第一板体及该第二板体,并使该复数个柱体相互平行配置,及至少一支撑柱体,该支撑柱体两端形成一第二套件,该第二套件插入该第一板体及该第二板体的该凹槽内,连接该第一板体及该第二板体,并使该支撑柱体相互平行配置,其中,该晶舟架的特征在于:至少一第一插孔,形成于该第一套件及该第二套件上;至少一第二插孔,形成于该第一板体及该第二板体的侧边,并相对于该第一插孔;及至少一插入栓,插入该第二插孔及相对应的第一插孔中。
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