[实用新型]7350纳米带通红外滤光片

摘要

本实用新型公开了一种7350纳米带通红外滤光片，包括以Si为原材料的基板，以Ge、SiO为镀膜材料的第一镀膜层和以Ge、ZnS为镀膜材料的第二镀膜层，且所述基板设于第一镀膜层与第二镀膜层之间，其特征是第一镀膜层由不同厚度的Ge和SiO交互排列而成，第二镀膜层由不同厚度的Ge和ZnS交互排列而成，所述第一镀膜层和第二镀膜层最内侧均为Ge。本实用新型得到的7350纳米带通红外滤光片，能实现中心波长定位为7350±1％纳米，峰值透过率达90％以上，截止区透过率小于0.1％，大大提高了信噪比，为精确测量所需测量的气体提供了基本保证，特别是可适用于检测SO2气体，增加对SO2气体的分辨能力，提高检测精度，更好的满足实际中的使用要求。

主权项

一种7350纳米带通红外滤光片，包括以Si为原材料的基板(2)，以Ge、SiO为镀膜材料的第一镀膜层(1)和以Ge、ZnS为镀膜材料的第二镀膜层(3)，且所述基板(2)设于第一镀膜层(1)与第二镀膜层(3)之间，其特征是所述第一镀膜层(1)包含由内向外依次排列的220nm厚度的Ge层、318nm厚度的SiO层、150nm厚度的Ge层、455nm厚度的SiO层、148nm厚度的Ge层、365nm厚度的SiO层、162nm厚度的Ge层、116nm厚度的SiO层、251nm厚度的Ge层、265nm厚度的SiO层、143nm厚度的Ge层、554nm厚度的SiO层、148nm厚度的Ge层、512nm厚度的SiO层、190nm厚度的Ge层、177nm厚度的SiO层、351nm厚度的Ge层、559nm厚度的SiO层、105nm厚度的Ge层、815nm厚度的SiO层、133nm厚度的Ge层、258nm厚度的SiO层、344nm厚度的Ge层、647nm厚度的SiO层、165nm厚度的Ge层、827nm厚度的SiO层、364nm厚度的Ge层、348nm厚度的SiO层、359nm厚度的Ge层、842nm厚度的SiO层、378nm厚度的Ge层、407nm厚度的SiO层、189nm厚度的Ge层和100nm厚度的SiO层，所述第二镀膜层(3)包含由内向外依次排列的107nm厚度的Ge层、820nm厚度的ZNS层、430nm厚度的Ge层、820nm厚度的ZnS层、860nm厚度的Ge层、820nm厚度的ZnS层、430nm厚度的Ge层、820nm厚度的ZnS层、430nm厚度的Ge层、820nm厚度的ZnS层、430nm厚度的Ge层、820nm厚度的ZnS层、430nm厚度的Ge层、1639nm厚度的ZnS层、430nm厚度的Ge层、724nm厚度的ZnS层、392nm厚度的Ge层和157nm厚度的ZnS层。