[实用新型]一种溅射靶材有效
| 申请号： | 201220091436.2 | 申请日： | 2012-03-12 |
| 公开（公告）号： | CN202530154U | 公开（公告）日： | 2012-11-14 |
| 发明（设计）人： | 高岩;何金江;郭力山;曾浩 | 申请（专利权）人： | 北京有色金属研究总院;有研亿金新材料股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C23C14/14 |
| 代理公司： | 北京众合诚成知识产权代理有限公司 11246 | 代理人： | 薄观玖 |
| 地址： | 100088 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了属于溅射靶材技术领域的一种溅射靶材。所述背板具有一凹槽，该凹槽为圆柱形凹槽或者为直径向内侧逐渐减小的阶梯式凹槽，该凹槽用以容纳靶坯的嵌入，所述靶坯具有一凸起，该凸起为圆柱形凸起或者为直径向内侧逐渐减小的阶梯式凸起，该凸起与背板上的凹槽相对应，用以嵌入相应的背板中，所述靶坯的凸起嵌入所述背板的凹槽内。本实用新型能够最大量的提高靶材的有效溅射厚度，延长靶材的溅射寿命。本实用新型的溅射靶材因靶厚度的加深，使得靶材的寿命提高了至少30％，具有非常好的实际意义。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 溅射 | ||
【主权项】：
一种溅射靶材，包括靶材和背板，其特征在于：所述背板具有一凹槽，该凹槽为圆柱形凹槽或者为直径向内侧逐渐减小的阶梯式凹槽，该凹槽用以容纳靶坯的嵌入，所述靶坯具有一凸起，该凸起为圆柱形凸起或者为直径向内侧逐渐减小的阶梯式凸起，该凸起与背板上的凹槽相对应，用以嵌入相应的背板中，所述靶坯的凸起嵌入所述背板的凹槽内。
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