[实用新型]一种带分子泵的三级抽真空设备有效
| 申请号： | 201220098033.0 | 申请日： | 2012-03-13 |
| 公开（公告）号： | CN202579114U | 公开（公告）日： | 2012-12-05 |
| 发明（设计）人： | 王应毅 | 申请（专利权）人： | 浙江普阳深冷装备有限公司 |
| 主分类号： | F04B41/06 | 分类号： | F04B41/06 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 321300 *** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 一种带分子泵的三级抽真空设备，包括旋片真空泵、罗茨真空泵、分子泵和若干气瓶接口，所述旋片真空泵、所述罗茨真空泵、所述分子泵和所述若干气瓶接口依次连接在一起。本实用新型具有能耗低，对真空室污染小更环保且工作效率高、性能更稳定等优点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 分子 三级 真空设备 | ||
【主权项】：
一种带分子泵的三级抽真空设备，其特征在于：包括旋片真空泵、罗茨真空泵、分子泵和若干气瓶接口，所述旋片真空泵、所述罗茨真空泵、所述分子泵和所述若干气瓶接口依次连接在一起。
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