[实用新型]一种泡生法单晶炉的全角度视窗有效

专利信息
申请号: 201220102245.1 申请日: 2012-03-19
公开(公告)号: CN202595329U 公开(公告)日: 2012-12-12
发明(设计)人: 王元斌;邹宇琦;曹凤凯;刘献伟 申请(专利权)人: 上海施科特光电材料有限公司
主分类号: C30B15/00 分类号: C30B15/00;C30B29/20
代理公司: 上海翼胜专利商标事务所(普通合伙) 31218 代理人: 翟羽;曾人泉
地址: 201403 上海*** 国省代码: 上海;31
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摘要: 实用新型一种泡生法单晶炉的全角度视窗,其特征结构是:籽晶杆顶端通过炉盖中央的炉盖上凸口,再通过密封连接体与波纹管连接,实现了真空状态下通过波纹管对籽晶杆的控制;炉盖为上下平面的结构,在炉盖上设置三个视窗;三个视窗通过三个视窗筒体成阵列倾斜设置在炉盖上并高于炉盖的高度;视窗筒体的顶端通过密封圈安装石英玻璃;在三个视窗筒体下端的炉盖上设有三快受控制按钮控制的挡板:需要观察时,转开挡板通过视窗观察炉内情况,不需观察时,用挡板遮住视窗下端,其隔热作用能保护石英玻璃在高温下正常工作。本实用新型有利于清晰观察泡生法单晶炉内晶体的生长情况,有利于技术人员控制和及时调整,有利于长出优质的蓝宝石单晶体。
搜索关键词: 一种 泡生法单晶炉 角度 视窗
【主权项】:
一种泡生法单晶炉的全角度视窗,含有炉体、坩埚(1)、炉盖(3),在炉体内设置坩埚(1),在坩埚(1)的中间设置籽晶杆(3),其特征在于,水冷籽晶杆(3)顶端的密封通道包括设置在炉盖(3)中央的炉盖上凸口(4)、密封连接体(5)和波纹管(6),所述炉盖上凸口(4)通过密封连接体(5)连接着波纹管(6),实现了真空状态下通过波纹管(6)对籽晶杆(2)的真空密封连接;所述炉盖(3)的上下表面都为平面结构,在炉盖(3)上设置三个视窗,即第一视窗(71)、第二视窗(72)、第三视窗(73)和三个挡板控制按钮(9);所述的三个视窗通过三个视窗筒体,即第一视窗筒体(81)、第二视窗筒体(82)、第三视窗筒体(83)密封连接在炉盖(3)上并高于炉盖(3)的平面:定义一垂面,所述垂面垂直于炉盖(3)表面并通过炉盖(3)的直径,所述视窗筒体的中心线位于所述垂面上并倾斜于炉盖(3)表面,所述视窗筒体在其中心线与所述炉盖(3)直径近圆心端形成一个120°~125°度的钝角,所述视窗筒体在其中心线与所述炉盖直径远圆心端形成一个55°~60°度的锐角,所述视窗筒体的中心线与炉盖(3)上表面的交点到炉盖(3)中心保持一定的距离,所述的三个视窗筒体成阵列设置在炉盖上;在所述的三个视窗筒体的顶端通过密封圈安装石英玻璃,使石英玻璃与炉体保持有一定的距离;通过所述的三个视窗能全角度地观察单晶炉炉体内的单晶生长区域;在所述三个视窗筒体下端连接的炉盖(3)的下表面设有三快挡板,所述三快挡板对应所述的三个视窗筒体的位置并与所述的三个挡板控制按钮(9)连接;所述的三快挡板受三个挡板控制按钮(9)的控制:需要观察时,通过挡板控制按钮(9)转开挡板即可通过视窗进行观察,不需要观察时,将挡板遮住视窗的下端起到隔热的效果,保护石英玻璃在高温下的工作状态。
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