[实用新型]一种溅射离子镀工件悬挂网架有效
申请号: | 201220102683.8 | 申请日: | 2012-03-19 |
公开(公告)号: | CN202643829U | 公开(公告)日: | 2013-01-02 |
发明(设计)人: | 文晓斌;栾亚 | 申请(专利权)人: | 文晓斌 |
主分类号: | C23C14/50 | 分类号: | C23C14/50;C23C14/34 |
代理公司: | 北京联创佳为专利事务所(普通合伙) 11362 | 代理人: | 郭防 |
地址: | 523692 广东省东莞*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种溅射离子镀工件悬挂网架,包括支撑杆(1)、套管(2)、定位盘(3)和悬挂网架(4),定位盘(3)与悬挂网架(4)通过紧固螺栓连接,支撑杆(1)上设有悬挂网架(4),支撑杆(1)外侧设有套管(2),套管(2)位于每两个悬挂网架(4)之间。本实用新型能够将工件悬挂在网架上的,设置很多悬挂的孔,增加一次溅射镀膜数量,提高工作效率;根据工件长度可以对工件的悬挂空间进行调节,不用去掉网架;同时工件悬挂保证溅射离子镀膜充分彻底,避免返工浪费时间。 | ||
搜索关键词: | 一种 溅射 离子镀 工件 悬挂 网架 | ||
【主权项】:
一种溅射离子镀工件悬挂网架,其特征在于:包括支撑杆(1)、套管(2)、定位盘(3)和悬挂网架(4),定位盘(3)与悬挂网架(4)通过紧固螺栓连接,支撑杆(1)上设有悬挂网架(4),支撑杆(1)外侧设有套管(2),套管(2)位于每两个悬挂网架(4)之间。
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