[实用新型]缓冲式药液添加系统有效
申请号: | 201220104208.4 | 申请日: | 2012-03-19 |
公开(公告)号: | CN202601696U | 公开(公告)日: | 2012-12-12 |
发明(设计)人: | 施利君;钱诚 | 申请(专利权)人: | 苏州晶洲装备科技有限公司 |
主分类号: | H01L31/18 | 分类号: | H01L31/18;C30B33/10 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 215555 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种缓冲式药液添加系统,包括缓冲盒、进液管和添加液管,其特征在于:所述缓冲盒内设有高精度液位计,所述高精度液位计上设有液位计保护管。本实用新型的有益效果是:药液快速添加时能精确控制添加药液体积,明显提高药液配比浓度同时达到理想的工艺要求。 | ||
搜索关键词: | 缓冲 药液 添加 系统 | ||
【主权项】:
一种缓冲式药液添加系统,包括缓冲盒、进液管和添加液管,其特征在于:所述缓冲盒内设有高精度液位计,所述高精度液位计上设有液位计保护管。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的