[实用新型]一种化学气相沉积炉进气分布装置

摘要

本实用新型公开了一种化学气相沉积炉进气分布装置。其包括炉体底板及设于所述炉体底板上的进气管，其特点是在进气管的上部设有导流罩，导流罩呈下部开口的圆桶形结构，导流罩的顶部或侧壁设有通孔。所述进气管的上部封闭，侧壁均布有出气孔。所述导流罩由炭/炭复合材料制成。采用本实用新型的进气分布装置，并配合工件在沉积炉中的合理排放，可以方便的实现内进气压差法或外进气压差法生产工艺，不仅可提高CVI速率，还可大大缩短CVI周期，而且材料密度梯度少，材质均匀，尤其适合于炭/炭复合材料飞机刹车盘的制造。

主权项

一种化学气相沉积炉进气分布装置，包括炉体底板及设于所述炉体底板上的进气管，其特征在于，在所述进气管的上部设有导流罩，所述导流罩呈下部开口的圆桶形结构，所述导流罩上设有通孔。