[实用新型]MEMS麦克风有效
| 申请号： | 201220108080.9 | 申请日： | 2012-03-21 |
| 公开（公告）号： | CN202587369U | 公开（公告）日： | 2012-12-05 |
| 发明（设计）人： | 刘国俊 | 申请（专利权）人： | 瑞声声学科技(深圳)有限公司 |
| 主分类号： | H04R19/04 | 分类号： | H04R19/04 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 518057 广东省深圳*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及了一种MEMS麦克风，包括基板、与基板配合形成收容腔的外壳、收容于收容腔内的MEMS芯片和ASIC芯片，所述基板上设有环形凸台，所述环形凸台设有通孔，MEMS芯片固持于环形凸台上并覆盖通孔，所述通孔形成MEMS芯片的附加背腔。本实用新型增加的环形凸台有效地增加了MEMS芯片的背腔，从而提高了MEMS麦克风的灵敏度和频率响应，并且环形凸台的加工相对以前在基板上开凹槽更加简单，节省成本。 | ||
| 搜索关键词： | mems 麦克风 | ||
【主权项】：
一种MEMS麦克风，包括基板、与基板配合形成收容腔的外壳、收容于收容腔内的MEMS芯片和ASIC芯片，其特征在于：所述基板上设有环形凸台，所述环形凸台包括上开口面、相对的下开口面、以及贯通上开口面和下开口面的通孔，所述环形凸台的下开口面固持于基板，所述MEMS芯片固持于所述环形凸台的上开口面并覆盖通孔，所述环形凸台的通孔形成MEMS芯片的附加背腔。
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