[实用新型]一种研磨抛光机的研磨液滴加装置有效
| 申请号： | 201220110813.2 | 申请日： | 2012-03-22 |
| 公开（公告）号： | CN202825562U | 公开（公告）日： | 2013-03-27 |
| 发明（设计）人： | 曾雨晴 | 申请（专利权）人： | 上海华力微电子有限公司 |
| 主分类号： | B24B57/02 | 分类号： | B24B57/02;B24B37/34 |
| 代理公司： | 上海新天专利代理有限公司 31213 | 代理人： | 王敏杰 |
| 地址： | 201210 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型涉及半导体制造领域，尤其涉及一种研磨抛光机的研磨液滴加装置。本实用新型提出一种研磨抛光机的研磨液滴加装置，通过将研磨液盛放在塑料瓶体内且置于可调节高度的金属底座上，由于金属底座的位置可自由摆放所以能方便调节研磨液的滴加位置，并通过调节滴加头上的活塞来调节研磨液的滴加速率，从而避免一次性加入过多研磨液而导致研磨液的浪费，同时也可以通过控制研磨液的滴加速度，来保持稳定的研磨速率，使样品更加平整，提高研磨效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 研磨 抛光机 液滴加 装置 | ||
【主权项】：
一种研磨抛光机的研磨液滴加装置，其特征在于，包括底座、瓶体和滴加头，所述瓶体固定设置在底座上，所述滴加头套设在瓶口上。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于上海华力微电子有限公司，未经上海华力微电子有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201220110813.2/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种凭证装订用夹持工具
- 下一篇：制粒机压辊总成
