[实用新型]液浆喷射发生器

摘要

液浆喷射发生器，由工作台、液浆回收槽、液浆搅拌系统、喷头和防护隔离罩5部分组成，其中：工作台由台板和台柱组成；液浆回收槽装在台板上方，液浆搅拌系统装在台板下方，防护隔离罩置于台板上方、罩在液浆回收槽外；液浆回收槽由槽体和回流管组成；液浆搅拌系统由液浆筒、鼓泡搅拌导管、液浆导管组成；喷头支管是液浆进口，直管两端是液浆喷射出口和压缩空气进口；防护隔离罩开有液浆回收槽安装孔、传递窗口、水雾排气孔和操作孔。本实用新型避免了表面处理工艺对器件产生的静电损伤，减少了对大气的污染、对人体的危害，液浆可循环利用。结构简单，使用方便，效果良好；适用于生产集成电路的企业。

主权项

一种液浆喷射发生器，其特征在于它由工作台、液浆回收槽、液浆搅拌系统、喷头和防护隔离罩5个部分组成，其中：工作台由台板(1)和台柱(2)组成，台柱(2)支撑台板(1)，台板(1)中部开有一个圆形孔；液浆回收槽安装在台板(1)上方，液浆搅拌系统安装在台板(1)下方，防护隔离罩置于台板(1)上方、罩在液浆回收槽外部；液浆回收槽由长方形的槽体(3)和圆筒形的回流管(4)组成，槽体内有带小孔的隔板(5)将其分为上下两部分，槽体(3)下部四周有边、中心有回流管(4)；液浆搅拌系统由液浆筒(6)、鼓泡搅拌导管(7)、液浆导管(8)组成，鼓泡搅拌导管(7)和液浆导管(8)分别插入液浆筒(6)之中；喷头为一直管与一支管交叉的三通形，其支管是液浆进口(9)，直管两端是液浆喷射出口(10)和压缩空气进口(11)，液浆进口(9)有软管(16)连接到液浆导管(8)，压缩空气进口(11)与压缩空气管道连接；防护隔离罩是透明罩，其底部开有液浆回收槽安装孔(12)，侧面开有传递窗口(13)，顶部开有水雾排气孔(14)，正面开有两个操作孔(15)。