[实用新型]可调式基于MEMS滤波的红外探测器有效
| 申请号： | 201220121137.9 | 申请日： | 2012-03-27 |
| 公开（公告）号： | CN202599535U | 公开（公告）日： | 2012-12-12 |
| 发明（设计）人： | 黄立;周文洪 | 申请（专利权）人： | 武汉高德红外股份有限公司 |
| 主分类号： | G01J5/10 | 分类号： | G01J5/10 |
| 代理公司： | 武汉开元知识产权代理有限公司 42104 | 代理人： | 唐正玉 |
| 地址： | 430223 湖北*** | 国省代码： | 湖北;42 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型涉及一种可调式基于MEMS滤波的红外探测器，集成了利用MEMS技术制备的微型法布里-泊罗干涉仪滤波器和利用红外工艺线制备的红外探测器，只有满足干涉条件的特定波长的红外辐射才能透过微型法布里-泊罗干涉仪，并被下面的红外探测器吸收和成像，通过改变外部的偏置电压，可以调节微型法布里-泊罗干涉仪的上下反射面距离，从而改变透过的红外辐射波长，就可以实现特定光谱或者多光谱的红外成像。 | ||
| 搜索关键词： | 调式 基于 mems 滤波 红外探测器 | ||
【主权项】：
可调式基于MEMS滤波的红外探测器，主要包括微型法布里‑泊罗干涉仪、红外探测器(1)，其特征在于：在红外探测器(1)表面设有金属焊盘(8)；所述的微型法布里‑泊罗干涉仪由上层平行板、下层平行板和中间的空腔(6)构成，所述的上层平行板包括SiN材料制备的平行板、可动悬臂梁(3)、金属电极(5)、布拉格反射镜(7)和单面的金属焊盘(8)，在SiN材料制备的平行板上设有可动悬臂梁(3)、金属电极(5)、外部偏置电压的引线(4)、布拉格反射镜(7)和单面的金属焊盘(8)；所述的下层平行板包括SiN材料制备的平行板、金属电极(5)、布拉格反射镜(7)和双面的金属焊盘(8)，在SiN材料制备的平行板上对应地设有金属电极(5)、外部偏置电压的引线(4)、布拉格反射镜(7)和双面的金属焊盘(8)；红外探测器(1)的金属焊盘与下层平行板的下表面金属焊盘(8)焊接在一起，下层平行板的上表面金属焊盘(8)与上层平行板的金属焊盘(8)焊接在一起。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于武汉高德红外股份有限公司，未经武汉高德红外股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201220121137.9/，转载请声明来源钻瓜专利网。
