[实用新型]PECVD上料区防撞舟保护装置有效
| 申请号： | 201220124747.4 | 申请日： | 2012-03-29 |
| 公开（公告）号： | CN202610316U | 公开（公告）日： | 2012-12-19 |
| 发明（设计）人： | 蒋科;张洋;孙袁野;雷凯;宁成森 | 申请（专利权）人： | 上饶光电高科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C16/44 | 分类号： | C23C16/44 |
| 代理公司： | 江西省专利事务所 36100 | 代理人： | 杨志宇 |
| 地址： | 334100 江西*** | 国省代码： | 江西;36 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及PECVD上料区防撞舟保护装置。目前，太阳能光伏领域PECVD上料设备的上料区域只有一个光电传感器，一旦光电传感器失效，就无法检查到推入设备中的小车上有无石墨舟，将会存在严重的安全隐患。本实用新型的PECVD上料区防撞舟保护装置，其中：上料设备通过导线与继电器串联，继电器通过导线分别与Ⅰ号光电传感器和Ⅱ号光电传感器串联，Ⅰ号光电传感器与Ⅱ号光电传感器通过导线并联。本实用新型的优点：在上料区增加一个光电传感器，作为双重保护。通过改进后，能够在一个传感器失效后，通过另一个传感器检测，保护石墨舟和机械臂的安全，是设备运行更稳定。采用简单有效的方法改进，节约成本，又便于维护保养。 | ||
| 搜索关键词： | pecvd 上料区防撞舟 保护装置 | ||
【主权项】：
PECVD上料区防撞舟保护装置，包括上料设备（1）、继电器（2）、Ⅰ号光电传感器（3）和Ⅱ号光电传感器（4）；其特征在于：上料设备（1）通过导线与继电器（2）串联，继电器（2）通过导线分别与Ⅰ号光电传感器（3）和Ⅱ号光电传感器（4）串联，Ⅰ号光电传感器（3）与Ⅱ号光电传感器（4）通过导线并联。
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C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
