[实用新型]真空镀膜用的离子轰击结构有效
| 申请号： | 201220130244.8 | 申请日： | 2012-03-31 |
| 公开（公告）号： | CN202595253U | 公开（公告）日： | 2012-12-12 |
| 发明（设计）人： | 赵铭 | 申请（专利权）人： | 广东友通工业有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/32 | 分类号： | C23C14/32 |
| 代理公司： | 东莞市创益专利事务所 44249 | 代理人： | 李卫平 |
| 地址： | 523000 广东省东莞*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型涉及真空镀膜技术领域，尤其是涉及真空镀膜用的离子轰击结构，其包括有轰击棒，轰击棒后端与电极连接，电极与电缆电性连接，电极通过绝缘套固定安装在相应的载体；所述轰击棒与电极同轴设置，轰击棒与电极之间通过螺纹连接。电极与电缆连接的一端设有螺纹段，螺纹段连接的螺母固定电缆与电极的连接。本实用新型设计的真空镀膜用的离子轰击结构，可实现轰击棒通电配合氩气产生放电获得等离子，并以等离子撞击工件表面，使工件表面的污垢离化，从而达到清洁的功效，结构简单，科学合理，投资成本低，体积小巧，安装、使用方便，大大提升工件表面清洁的效率和质量，从而提升真空镀膜的功效和品质。 | ||
| 搜索关键词： | 真空镀膜 离子 轰击 结构 | ||
【主权项】：
真空镀膜用的离子轰击结构，其特征在于：包括有轰击棒（1），轰击棒（1）后端与电极（2）连接，电极（2）与电缆电性连接，电极（2）通过绝缘套（4）固定安装在相应的载体（3）。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于广东友通工业有限公司，未经广东友通工业有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201220130244.8/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种用于连续磁控溅射镀膜的阴极装置
- 下一篇：多弧靶引弧针
- 同类专利
- 专利分类
