[实用新型]一种化学机械研磨头的夹具有效
| 申请号： | 201220131562.6 | 申请日： | 2012-03-31 |
| 公开（公告）号： | CN202572124U | 公开（公告）日： | 2012-12-05 |
| 发明（设计）人： | 戴文俊 | 申请（专利权）人： | 上海集成电路研发中心有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/34 | 分类号： | B24B37/34 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 郑玮 |
| 地址： | 201210 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型公开了一种化学机械研磨头的夹具，其中，不锈钢夹具与塑料缓冲垫之间的结合为物理固定方式，使得不锈钢夹具与塑料缓冲垫变得更容易分离，更换更简易，由此，当塑料缓冲垫需要更换时，仅将其予以更换即可，降低了成本。此外，也避免了脱胶带来的滑片、破片等的问题，进一步的降低了生产成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 化学 机械 研磨 夹具 | ||
【主权项】：
一种化学机械研磨头的夹具，其特征在于，包括：塑料缓冲垫及不锈钢夹具，所述塑料缓冲垫与不锈钢夹具拧合连接。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于上海集成电路研发中心有限公司，未经上海集成电路研发中心有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201220131562.6/，转载请声明来源钻瓜专利网。
