[实用新型]多晶硅生产的尾气回收处理系统有效

专利信息
申请号: 201220132869.8 申请日: 2012-03-31
公开(公告)号: CN202490563U 公开(公告)日: 2012-10-17
发明(设计)人: 周祥顺;王岭;蒲晓东;刘小锋;王大海 申请(专利权)人: 四川新光硅业科技有限责任公司
主分类号: B01D53/18 分类号: B01D53/18
代理公司: 四川力久律师事务所 51221 代理人: 刘雪莲;林辉轮
地址: 614000*** 国省代码: 四川;51
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摘要: 实用新型涉及尾气回收系统领域,具体涉及多晶硅生产的尾气回收处理系统,包括由管道连接的吸收塔(3)、脱吸塔Ⅰ(1),还包括与脱吸塔Ⅰ(1)通过管道连接的脱吸塔Ⅱ(2)。本实用新型多晶硅生产的尾气回收处理系统只包含了一个吸收塔和两个精馏塔,结构简单,占地小,降低了设备投入成本;对尾气中成分进行分离,使尾气中氢气、氯化氢和二氯二氢硅都得到了回收,实现了尾气回收时被回收的各组分之间较彻底的分离。
搜索关键词: 多晶 生产 尾气 回收 处理 系统
【主权项】:
多晶硅生产的尾气回收处理系统,包括由管道连接的吸收塔(3)、脱吸塔Ⅰ(1),其特征在于,还包括与脱吸塔Ⅰ(1)通过管道连接的脱吸塔Ⅱ(2)。
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