[实用新型]一种单晶硅生长热场的新型保温装置

摘要

一种单晶硅生长热场的新型保温装置，包括设置在筒体内的热屏、坩埚支撑架、石英坩埚和石墨加热筒，筒体的上端设置有开口，热屏覆盖在筒体的开口处，坩埚支撑架的一端设置在筒体的底部，另一端支撑在石英坩埚的底部，石墨加热筒设置在筒体内侧壁和石英坩埚之间，筒体还设置保温装置，保温装置包含设置在筒体内侧壁上的上石墨保温筒、中石墨保温筒和下石墨保温筒。本实用新型将原有整体的保温筒分为上石墨保温筒、中石墨保温筒和下石墨保温筒，达到了更好的保温效果，通过在石英坩埚的外侧设置石墨坩埚，达到了石英坩埚尽量小的变形的效果，使晶体生长过程中有个恒定的空间范围，结构简单，十分实用。

主权项

一种单晶硅生长热场的新型保温装置，包括设置在筒体内的热屏、坩埚支撑架、石英坩埚和石墨加热筒，所述筒体的上端设置有开口，所述热屏覆盖在筒体的开口处，所述坩埚支撑架的一端设置在筒体的底部，另一端支撑在石英坩埚的底部，所述石墨加热筒设置在筒体内侧壁和石英坩埚之间，其特征在于，还包括保温装置，所述的保温装置包含设置在筒体内侧壁上的上石墨保温筒、中石墨保温筒和下石墨保温筒，所述上石墨保温筒、中石墨保温筒和下石墨保温筒为分体式的结构，所述上石墨保温筒设置在中石墨保温筒上，中石墨保温筒设置在下石墨保温筒上。