[实用新型]一种双坩埚感应加热物理气相传输生长单晶的装置有效
申请号: | 201220134774.X | 申请日: | 2012-04-01 |
公开(公告)号: | CN202643904U | 公开(公告)日: | 2013-01-02 |
发明(设计)人: | 倪代秦;吴星;赵岩;何丽娟;王雷;杨巍;马晓亮;李晋 | 申请(专利权)人: | 北京华进创威电子有限公司 |
主分类号: | C30B23/00 | 分类号: | C30B23/00 |
代理公司: | 北京中恒高博知识产权代理有限公司 11249 | 代理人: | 夏晏平 |
地址: | 100176 北京市大*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 一种双坩埚感应加热物理气相传输生长单晶的装置,属于单晶生长技术领域,特别是涉及感应加热物理气相传输生长单晶的装置。包括保温筒,在所述保温筒内设有外坩埚,在所述外坩埚内设有内坩埚,单晶原料与籽晶位于内坩埚内。与使用单坩埚的现有技术相比,本实用新型不但可以大大减少高熔点坩埚材料的消耗,而且内坩埚取出时不会蹭掉保温材料,从而延长了保温材料的使用寿命。 | ||
搜索关键词: | 一种 坩埚 感应 加热 物理 相传 生长 装置 | ||
【主权项】:
一种双坩埚感应加热物理气相传输生长单晶的装置,包括保温筒,其特征在于:在所述保温筒内设有外坩埚,在所述外坩埚内设有内坩埚,内外坩埚同轴,单晶原料与籽晶位于内坩埚内。
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