[实用新型]一种组合式钼旋转溅射管形靶材有效
| 申请号： | 201220135308.3 | 申请日： | 2012-04-01 |
| 公开（公告）号： | CN202543308U | 公开（公告）日： | 2012-11-21 |
| 发明（设计）人： | 赵文普;王健 | 申请（专利权）人： | 洛阳高新四丰电子材料有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34 |
| 代理公司： | 洛阳明律专利代理事务所 41118 | 代理人： | 智宏亮 |
| 地址： | 471000 河南省*** | 国省代码： | 河南;41 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型属于靶材技术领域，提出的一种组合式钼旋转溅射管形靶材，其特征在于：所述的钼旋转溅射管形靶材由两段管形靶材通过连接组合构成；其中管形靶材Ⅰ（1）的一端具有接头（3），所述接头（3）的前端具有外螺纹；所述的管形靶材Ⅱ（2）的一端具有中心空腔，所述管形靶材Ⅱ（2）一端的中心空腔具有与接头（3）螺纹配合的内螺纹。本实用新型提出的一种组合式钼旋转溅射管形靶材，采用螺纹连接的两段管型靶材组合可使钼旋转溅射管形靶材达到所需长度，解决了现有技术中靶材尺寸越大，加工越困难的问题，具有结构简单，操作方便的特点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 组合式 旋转 溅射 管形靶材 | ||
【主权项】：
一种组合式钼旋转溅射管形靶材，其特征在于：所述的钼旋转溅射管形靶材由两段管形靶材通过连接组合构成；其中管形靶材Ⅰ（1）的一端具有接头（3），所述接头（3）的前端具有外螺纹；所述的管形靶材Ⅱ（2）的一端具有中心空腔，所述管形靶材Ⅱ（2）一端的中心空腔具有与接头（3）螺纹配合的内螺纹。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于洛阳高新四丰电子材料有限公司，未经洛阳高新四丰电子材料有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201220135308.3/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
