[实用新型]石英坩埚水套有效
申请号: | 201220140863.5 | 申请日: | 2012-04-06 |
公开(公告)号: | CN202499799U | 公开(公告)日: | 2012-10-24 |
发明(设计)人: | 侯建;王震 | 申请(专利权)人: | 锦州佑鑫石英科技有限公司 |
主分类号: | C03B5/44 | 分类号: | C03B5/44 |
代理公司: | 锦州辽西专利事务所 21225 | 代理人: | 李辉 |
地址: | 121017 辽宁省锦州*** | 国省代码: | 辽宁;21 |
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摘要: | 一种石英坩埚水套,包括水套壳体,水套壳体内部为冷却水腔,在水套壳体内壁设有支撑环,在水套壳体底部设有抽气口与冷却水腔口,其特殊之处是:所述的冷却水腔口均布在水套壳体底面的边缘。由于冷却水腔口位于水套壳体底面的边缘,远离抽气口,避免了冷却水在被经由抽气口抽出的高温空气加热,冷却效率高、冷却效果好,且一旦冷却水腔口处发生泄漏,冷却水不会被高温空气汽化,保证了石英坩埚所处环境真空度,降低了石英坩埚的废品率。 | ||
搜索关键词: | 石英 坩埚 | ||
【主权项】:
一种石英坩埚水套,包括水套壳体,水套壳体内部为冷却水腔,在水套壳体内壁设有支撑环,在水套壳体底部设有抽气口与冷却水腔口,其特征是:所述的冷却水腔口均布在水套壳体底面的边缘。
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