[实用新型]一种具有真空夹层炉壁的真空电弧镀膜机有效
申请号: | 201220167666.2 | 申请日: | 2012-04-19 |
公开(公告)号: | CN202576548U | 公开(公告)日: | 2012-12-05 |
发明(设计)人: | 李志荣;李志方;罗志明;李秋霞 | 申请(专利权)人: | 东莞市汇成真空科技有限公司 |
主分类号: | C23C14/32 | 分类号: | C23C14/32 |
代理公司: | 广州知友专利商标代理有限公司 44104 | 代理人: | 周克佑 |
地址: | 523838 广东*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种具有真空夹层炉壁的真空电弧镀膜机,所述真空夹层炉壁由之间具有真空夹层的内炉壁和外炉壁组成,处于所述真空电弧镀膜机的真空镀膜室内的多支加热管能分组控制。采用本实用新型的真空电弧镀膜机后,发热管功率可从75KW降低到45KW,而且45KW分组按实际炉温分段投入,由外部计算机精确控温,不会造成过大热惯性冲击,减少能源浪费和耗损,不用水冷,不会让冷却水带走炉内大量热,既节能又减排;减少了发热管的数量和功率,省去了炉体内的冷却水循环系统,可降低设备造价和辅助设备的投资。 | ||
搜索关键词: | 一种 具有 真空 夹层 炉壁 电弧 镀膜 | ||
【主权项】:
一种具有真空夹层炉壁的真空电弧镀膜机,其特征在于:所述真空夹层炉壁由之间具有真空夹层的内炉壁和外炉壁组成,处于所述真空电弧镀膜机的真空镀膜室内的多支加热管能分组控制。
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