[实用新型]一种自动上下料PECVD石墨舟保护系统有效
| 申请号： | 201220172116.X | 申请日： | 2012-04-21 |
| 公开（公告）号： | CN202658228U | 公开（公告）日： | 2013-01-09 |
| 发明（设计）人： | 金则军;胡振东;易文杰 | 申请（专利权）人： | 中国电子科技集团公司第四十八研究所 |
| 主分类号： | C23C16/44 | 分类号： | C23C16/44 |
| 代理公司： | 长沙正奇专利事务所有限责任公司 43113 | 代理人： | 马强 |
| 地址： | 410111 湖南*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种自动上下料PECVD石墨舟保护系统，为了防止石墨舟被炉门损坏，本实用新型包括光纤发光探头固定板和光纤感光探头固定板，所述光纤发光探头固定板上装有光纤传感器发光探头，所述光纤感光探头固定板上装有光纤传感器感光探头；所述光纤传感器发光探头和光纤传感器感光探头分别通过信号传输线与一光纤传感器放大器相连。本实用新型保护了贵重件石墨舟，提高了自动上下料PECVD可靠程度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 自动 上下 pecvd 石墨 保护 系统 | ||
【主权项】：
1.一种自动上下料PECVD石墨舟保护系统，其特征是，包括光纤发光探头固定板（1）和光纤感光探头固定板（3），所述光纤发光探头固定板（1）上装有光纤传感器发光探头（4），所述光纤感光探头固定板（3）上装有光纤传感器感光探头（5）；所述光纤传感器发光探头（4）和光纤传感器感光探头（5）分别通过信号传输线与一光纤传感器放大器（8）相连。
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C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
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C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
