[实用新型]用于处理四氯化硅氢化副产物的设备有效
申请号: | 201220173575.X | 申请日: | 2012-04-20 |
公开(公告)号: | CN202988744U | 公开(公告)日: | 2013-06-12 |
发明(设计)人: | 张升学;严大洲;肖荣晖;毋克力;汤传斌;杨永亮;万烨 | 申请(专利权)人: | 中国恩菲工程技术有限公司;洛阳中硅高科技有限公司 |
主分类号: | C01B33/107 | 分类号: | C01B33/107 |
代理公司: | 北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201 | 代理人: | 宋合成 |
地址: | 100038*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本实用新型提供了用于处理四氯化硅氢化副产物的设备。该设备包括:气固分离装置,所述气固分离装置用于对四氯化硅氢化副产物进行气固分离以得到含有三氯氢硅、四氯化硅、二氯二氢硅、氢气的第一气体混合物和固体颗粒;以及热交换装置,所述热交换装置与气固分离装置相连,从气固分离装置接收所述第一气体混合物,并且将第一气体混合物与第二气体混合物进行热交换,以便使得第二气体混合物的温度被提高,其中,第二气体混合物为四氯化硅和氢气的混合物。根据本实用新型实施例的用于处理四氯化硅氢化副产物的设备,结构简单,操作方便,能耗低,成本低,热量回收率高。并且可以避免固体颗粒堵塞管道,提高固体物料利用率,从而保证管道和设备的正常运行。 | ||
搜索关键词: | 用于 处理 氯化 氢化 副产物 设备 | ||
【主权项】:
一种用于处理四氯化硅氢化副产物的设备,其特征在于,包括:气固分离装置,所述气固分离装置用于对四氯化硅氢化副产物进行气固分离;以及热交换装置,所述热交换装置与所述气固分离装置相连。
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