[实用新型]一种太阳能硅片表面线痕测试仪有效

专利信息
申请号: 201220176801.X 申请日: 2012-04-23
公开(公告)号: CN202661098U 公开(公告)日: 2013-01-09
发明(设计)人: 沈彪;李向清;胡德良 申请(专利权)人: 江苏爱多光伏科技有限公司
主分类号: G01D21/00 分类号: G01D21/00
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 214423 江苏省*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 一种太阳能硅片表面线痕测试仪,包括工作台,工作台上设有竖直的立柱,立柱轨道连接有可沿立柱竖直上下移动的驱动器,驱动器还轨道连接有可沿驱动器水平移动的水平杆,水平杆的端部固定有探针,探针端部设有距离传感器,工作台上还设置有用于放置硅片的陶瓷高精密平台,驱动器和距离传感器连接至可编程控制器。本太阳能硅片表面线痕测试仪,其结构设计合理,可以方便地对太阳能硅片表面线痕进行测试。可以对制程或供应商的管理提供量化的产品线痕标准,准确、及时的实行线痕SPC控制;在双方对线痕存在异议时,可以作为第三方仲裁。
搜索关键词: 一种 太阳能 硅片 表面 测试仪
【主权项】:
一种太阳能硅片表面线痕测试仪,其特征在于,包括工作台,工作台上设有竖直的立柱,立柱轨道连接有可沿立柱竖直上下移动的驱动器,驱动器还轨道连接有可沿驱动器水平移动的水平杆,水平杆的端部固定有探针,探针端部设有距离传感器,工作台上还设置有用于放置硅片的陶瓷高精密平台,驱动器和距离传感器连接至可编程控制器。
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