[实用新型]一种硅片切割液回收过程中的脱水系统有效
| 申请号： | 201220177648.2 | 申请日： | 2012-04-25 |
| 公开（公告）号： | CN202543165U | 公开（公告）日： | 2012-11-21 |
| 发明（设计）人： | 方汉春;朱荣兴 | 申请（专利权）人： | 浙江晶盛硅晶材料有限公司 |
| 主分类号： | C10M175/00 | 分类号： | C10M175/00 |
| 代理公司： | 杭州之江专利事务所(普通合伙) 33216 | 代理人： | 林蜀 |
| 地址： | 324300 浙江省衢州*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种硅片切割液回收过程中的脱水系统，该系统的脱水前液储罐通过管路经过板式换热器循环连接后再与脱水釜连接；脱水釜通过管路连接板式换热器后再与降温釜连接。采用本实用新型，既利用脱水前的硅片切割液给脱水后的硅片切割液进行了冷却降温，又利用脱水后的硅片切割液对脱水前的硅片切割液进行了加热升温；经过实际使用对比，使原来放到降温釜的脱水后液的温度从80℃左右直降到60℃以下，原来的脱水前液的温度从30℃左右升高到55℃以上，既缩短了脱水后液的降温时间和冷却循环水的使用，又大大减少脱水液升温脱水的时间和蒸汽的消耗。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 硅片 切割 回收 过程 中的 脱水 系统 | ||
【主权项】：
一种硅片切割液回收过程中的脱水系统，其特征在于它包括脱水前液储罐、脱水釜、板式换热器和降温釜，脱水前液储罐通过管路经过板式换热器循环连接后再与脱水釜连接；脱水釜通过管路连接板式换热器后再与降温釜连接。
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