[实用新型]一种气液混合供料精确控制装置有效
申请号: | 201220181494.4 | 申请日: | 2012-04-25 |
公开(公告)号: | CN202558933U | 公开(公告)日: | 2012-11-28 |
发明(设计)人: | 朱满康;吴兴轩;贾渊洁;侯育冬;刘晶冰;汪浩;严辉 | 申请(专利权)人: | 北京工业大学 |
主分类号: | C23C16/448 | 分类号: | C23C16/448;C23C16/455 |
代理公司: | 北京思海天达知识产权代理有限公司 11203 | 代理人: | 沈波 |
地址: | 100124 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 一种气液混合供料精确控制装置,属于原料控制装置。惰性气体储气罐依次与减压阀和调压阀相连,然后由进气管道与液体原料罐连接,液体原料罐由液体原料进料管道经质量流量计与蒸发混合罐连通;同时气体原料罐由气体原料进料管道经气体流量计与蒸发混合罐连通,蒸发混合罐置于油浴器一中,然后蒸发混合罐由连接管道与混合气体缓冲罐连通,混合气体缓冲罐放在油浴器二中,混合气体缓冲罐连接有混合气体出料管道,混合气体出料管道上装有截止阀二。该装置可精确控制气液进料,结构相对简单,适合工业化生产,易于实现自动化控制。 | ||
搜索关键词: | 一种 混合 供料 精确 控制 装置 | ||
【主权项】:
一种气液混合供料精确控制装置,其特征在于,该装置液体原料罐(1)、惰性气体储气罐(2)、气体原料罐(3)、截止阀一(4)、减压阀(5)、调压阀(6)、进气管道(7)、气体原料进料管道(8)、液体原料进料管道(9)、质量流量计(10)、气体流量计(11)、油浴器一(12)、蒸发混合罐(13)、连接管道(14)、油浴器二(15)、混合气体缓冲罐(16)、截止阀二(17)、混合气体出料管道(18);惰性气体储气罐(2)依次与减压阀(5)和调压阀(6)相连,然后由进气管道(7)与液体原料罐(1)连接,液体原料罐(1)由液体原料进料管道(9)经质量流量计(10)与蒸发混合罐(13)连通;同时气体原料罐(3)由气体原料进料管道(8)经气体流量计(11)与蒸发混合罐(13)连通,蒸发混合罐(13)置于油浴器一(12)中,然后蒸发混合罐(13)由连接管道(14)与混合气体缓冲罐(16)连通,混合气体缓冲罐(16)放在油浴器二(15)中,混合气体缓冲罐(16)连接有混合气体出料管道(18),混合气体出料管道(18)上装有截止阀二(17)。
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C23 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
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