[实用新型]一种带有位移传感器的基板搬送装置有效
申请号: | 201220186399.3 | 申请日: | 2012-04-27 |
公开(公告)号: | CN202642766U | 公开(公告)日: | 2013-01-02 |
发明(设计)人: | 礒端美伯 | 申请(专利权)人: | 苏州松下生产科技有限公司 |
主分类号: | B65G43/08 | 分类号: | B65G43/08;B65G49/06 |
代理公司: | 广州市越秀区海心联合专利代理事务所(普通合伙) 44295 | 代理人: | 黄为 |
地址: | 215121 江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种带有位移传感器的基板搬送装置,包括基座、基板支撑台、支撑板、搬送导轨、连接轴、电机,所述基板支撑台和所述搬送导轨固定于所述基座上,所述支撑板固定于所述基板支撑台上以支撑基板,所述搬送导轨为一对,分别通过连接轴相互连接以搬送基板,所述电机连接于所述搬送导轨以提供动力,所述基板搬送装置还包括位移传感器、控制器,所述位移传感器为一对,分别设置于所述每根搬送导轨在基板搬送方向的下游方,所述一对位移传感器互相相对设置,所述控制器的输入端与所述位移传感器连接,所述控制器的输出端与所述电机相连接以控制其动作。本实用新型结构简单,可很方便地搬送基板。 | ||
搜索关键词: | 一种 带有 位移 传感器 基板搬送 装置 | ||
【主权项】:
一种带有位移传感器的基板搬送装置,包括基座、基板支撑台、支撑板、搬送导轨、连接轴、电机,所述基板支撑台和所述搬送导轨固定于所述基座上,所述支撑板固定于所述基板支撑台上以支撑基板,所述搬送导轨为一对,分别通过连接轴相互连接以搬送基板,所述电机连接于所述搬送导轨以提供动力,其特征是:所述基板搬送装置还包括位移传感器、控制器,所述位移传感器为一对,分别设置于所述每根搬送导轨在基板搬送方向的下游方,所述一对位移传感器互相相对设置,所述控制器的输入端与所述位移传感器连接,所述控制器的输出端与所述电机相连接以控制其动作。
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