[实用新型]压力传感器感应头有效
申请号: | 201220187821.7 | 申请日: | 2012-04-28 |
公开(公告)号: | CN202614431U | 公开(公告)日: | 2012-12-19 |
发明(设计)人: | 朱荣惠;芦婧雯 | 申请(专利权)人: | 无锡永阳电子科技有限公司 |
主分类号: | G01L1/20 | 分类号: | G01L1/20 |
代理公司: | 宜兴市天宇知识产权事务所(普通合伙) 32208 | 代理人: | 蔡凤苞 |
地址: | 214000 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型涉及一种压力传感器感应头。具体说,是用来测量压力的压力传感器的感应头。它包括金属底座和传感器芯片,所述金属底座为管状,其一端有用于构成金属膜片的封底,其另一端留有端口;所述传感器芯片含有硅片,硅片上集成有四片应变片,该四片应变片通过金属化沉积连成惠斯登电桥。其特点是所述传感器芯片采用玻璃微熔方式粘贴在所述金属膜片上。采用这种压力传感器感应头,可实现压力的精确测量。 | ||
搜索关键词: | 压力传感器 感应 | ||
【主权项】:
压力传感器感应头,包括金属底座和传感器芯片(2),所述金属底座为管状,其一端有用于构成金属膜片(3)的封底,其另一端留有端口(5);所述传感器芯片(2)含有硅片(201),硅片(201)上集成有四片应变片(6),该四片应变片通过金属化沉积连成惠斯登电桥;其特征在于所述传感器芯片(2)采用玻璃微熔方式粘贴在所述金属膜片(3)上。
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