[实用新型]一种多晶硅尾气回收系统吸附柱并网装置有效
申请号: | 201220188314.5 | 申请日: | 2012-04-28 |
公开(公告)号: | CN202654903U | 公开(公告)日: | 2013-01-09 |
发明(设计)人: | 罗邦彦 | 申请(专利权)人: | 四川瑞能硅材料有限公司 |
主分类号: | B01D53/04 | 分类号: | B01D53/04;C01B3/56 |
代理公司: | 成都九鼎天元知识产权代理有限公司 51214 | 代理人: | 詹永斌;钱成岑 |
地址: | 620041 *** | 国省代码: | 四川;51 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种多晶硅尾气回收系统吸附柱并网装置,包括回收系统Ⅰ和回收系统Ⅱ,所述回收系统Ⅰ包含有换热器Ⅰ(1)、吸附柱Ⅰ(2)和之间连接的管道Ⅰ(3),所述回收系统Ⅱ包含有换热器Ⅱ(4)、吸附柱Ⅱ(5)和之间连接的管道Ⅱ(6),所述管道Ⅰ(3)和管道Ⅱ(6)通过设置带有阀门Ⅰ(8)的管道Ⅲ(7)连通;所述管道Ⅰ(3)上设置阀门Ⅱ(9),所述阀门Ⅱ(9)位于换热器Ⅰ(1)和管道Ⅲ(7)之间;所述管道Ⅱ(6)上设置阀门Ⅴ(11),所述阀门Ⅴ(11)位于换热器Ⅱ(4)和管道Ⅲ(7)之间。该吸附柱并网装置成本低廉,有效的降低正常运行的尾气回收系统中吸附柱的负荷,提升尾气处理量和回收氢气质量。 | ||
搜索关键词: | 一种 多晶 尾气 回收 系统 吸附 并网 装置 | ||
【主权项】:
一种多晶硅尾气回收系统吸附柱并网装置,包括回收系统Ⅰ和回收系统Ⅱ,所述回收系统Ⅰ包含有换热器Ⅰ(1)、吸附柱Ⅰ(2)和之间连接的管道Ⅰ(3),所述回收系统Ⅱ包含有换热器Ⅱ(4)、吸附柱Ⅱ(5)和之间连接的管道Ⅱ(6),其特征在于:所述管道Ⅰ(3)和管道Ⅱ(6)通过设置带有阀门Ⅰ(8)的管道Ⅲ(7)连通;所述管道Ⅰ(3)上设置阀门Ⅱ(9),所述阀门Ⅱ(9)位于换热器Ⅰ(1)和管道Ⅲ(7)之间;所述管道Ⅱ(6)上设置阀门Ⅴ(11),所述阀门Ⅴ(11)位于换热器Ⅱ(4)和管道Ⅲ(7)之间。
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