[实用新型]一种基于静电刚度的谐振式微加速度计

摘要

本实用新型涉及一种基于静电刚度的谐振式微加速度计。所述微加速度计的机械结构包括：两个质量块系统、两个驱动梳齿对、一个音叉谐振子，音叉谐振子包括两根双端固支音叉梁，驱动梳齿对与音叉谐振子构成驱动电容。所述微加速度计利用检测端加载不同的直流电压来调节微加速度计的灵敏度，减小了灵敏度对工艺制造误差依赖性；采用以滑动阻尼为主的振动结构设计，阻尼小，封装品质因数大，检测信号容易拾取；检测极板信号引线和驱动梳齿极板信号引线分开布置，大大减小驱动端到检测端的同频干扰；驱动电极采用梳齿电容对，减少了静电驱动力的非线性。

主权项

一种基于静电刚度的谐振式微加速度计，包括单晶硅层和玻璃基座层，加速度计机械结构刻蚀在单晶硅层上，其特征在于：所述加速度计机械结构包括：两个质量块系统、两个驱动梳齿对、音叉谐振子；其中：所述音叉谐振子水平设置在单晶硅层上，两个驱动梳齿对分别对称布置在音叉谐振子的两侧，所述两个质量块系统分别通过齿槽与两个驱动梳齿对连接；音叉谐振子与任一质量块系统构成一个检测电容，音叉谐振子与任一驱动梳齿对构成一个驱动电容。