[实用新型]高温CVD生长室用高度微调节装置

摘要

本实用新型公开一种高温CVD生长室用高度微调节装置，包括有耐高温支撑柱、生长室底盘、高度调节盘、高度调节螺钉及锁固螺钉，其中，该耐高温支撑柱相对高度调节盘固定式设置于高度调节盘上，该高度调节盘位于生长室底盘上方；该高度调节盘上开设有螺纹通孔、无螺纹通孔，并于生长室底盘上对应前述无螺纹通孔位置开设有螺纹孔；该高度调节螺钉螺合于高度调节盘的螺纹通孔内，并该高度调节螺钉的底端抵于生长室底盘上；该锁固螺钉穿过高度调节盘的无螺纹通孔并螺合于生长室底盘的螺纹孔内；使用时，松开锁固螺钉，旋转高度调节螺钉以将高度调节合适后，再拧紧锁固螺钉即可，其结构简单、操作方便、能够实现精确细微的高度调节。

主权项

一种高温CVD生长室用高度微调节装置，其特征在于：包括有耐高温支撑柱、生长室底盘、高度调节盘、高度调节螺钉及锁固螺钉，其中，该耐高温支撑柱相对高度调节盘固定式设置于高度调节盘上，该高度调节盘位于生长室底盘上方；该高度调节盘上开设有螺纹通孔、无螺纹通孔，并于生长室底盘上对应前述无螺纹通孔位置开设有螺纹孔；该高度调节螺钉螺合于高度调节盘的螺纹通孔内，并该高度调节螺钉的底端抵于生长室底盘上；该锁固螺钉穿过高度调节盘的无螺纹通孔并螺合于生长室底盘的螺纹孔内。