[实用新型]带有研磨液供应功能的研磨头及研磨装置有效
| 申请号： | 201220208336.3 | 申请日： | 2012-05-09 |
| 公开（公告）号： | CN202592202U | 公开（公告）日： | 2012-12-12 |
| 发明（设计）人： | 唐强;李佩 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（上海）有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/11 | 分类号： | B24B37/11;B24B37/02;B24B57/02 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 201203 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种带有研磨液供应功能的研磨头及研磨装置，所述研磨头包括研磨头本体、驱动轴以及限位环，所述驱动轴与所述研磨头本体固定连接，所述限位环设置于所述研磨头本体的下方四周，还包括研磨液供应管和至少两个喷口，所述至少两个喷口均匀设置于所述限位环的内侧下方，所述驱动轴沿轴向设有供所述研磨液供应管穿越的通孔，所述研磨头本体和所述限位环内设有用于连接所述研磨液供应管及所述至少两个喷口的研磨液管道。通过将研磨液供应管穿经所述驱动轴设置，可以将研磨液供尽可能地供应到晶圆的附近，避免研磨液被研磨垫大量甩出而浪费，节约了生产成本，提高了生产率。 | ||
| 搜索关键词： | 带有 研磨 供应 功能 装置 | ||
【主权项】：
一种带有研磨液供应功能的研磨头，包括研磨头本体、驱动轴以及限位环，所述驱动轴与所述研磨头本体固定连接，所述限位环设置于所述研磨头本体的下方四周，其特征在于，还包括研磨液供应管和至少两个喷口，所述至少两个喷口均匀设置于所述限位环的内侧下方，所述驱动轴沿轴向设有供所述研磨液供应管穿越的通孔，所述研磨头本体和所述限位环内设有用于连接所述研磨液供应管及所述至少两个喷口的研磨液管道。
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