[实用新型]石英舟

摘要

本实用新型涉及一种石英舟，包括两个相对设置的面板、两个底部连接杆以及两个侧壁连接杆，两个底部连接杆的两端分别与两个面板的底边固定连接，两个侧壁连接杆的两端分别与两个面板的两个侧边固定连接，两个侧壁连接杆相对的一侧设有间隔排布的第一凹槽，两个底部连接杆的上侧设有间隔排布的与第一凹槽相匹配的第二凹槽，两个侧壁连接杆的横切面为外侧的矩形与内侧的直角梯形组合成的五边形，直角梯形的底边与矩形的长边重合，直角梯形的顶边上设有间隔排布的第一凹槽。采用矩形与直角梯形组合成的五边形为横切面的侧壁连接杆，将硅片置于第一凹槽中，侧壁连接杆与硅片接触处的垂直厚度减小，接触面减小，提高扩散均匀性，消除“扩散盲区”。

主权项

一种石英舟，包括两个相对设置的面板、两个底部连接杆以及两个侧壁连接杆，所述两个底部连接杆的两端分别与所述两个面板的底边固定连接，所述两个侧壁连接杆的两端分别与所述两个面板的两个侧边固定连接，所述两个侧壁连接杆相对的一侧设有间隔排布的第一凹槽，所述两个底部连接杆的上侧设有间隔排布的与所述第一凹槽相匹配的第二凹槽，其特征在于，所述两个侧壁连接杆的横切面为外侧的矩形与内侧的直角梯形组合成的五边形，所述直角梯形的底边与所述矩形的长边重合，所述直角梯形的顶边上设有间隔排布的第一凹槽。