[实用新型]微小圆孔尺寸及圆度同时测量的装置

摘要

本实用新型公开一种微小圆孔尺寸及圆度同时测量的装置，包括He-Ne激光器、被测圆孔及夹持器、带标志毛玻璃接收屏、信息采集装置、信息处理装置，本实用新型装置测试基于激光夫朗和费衍射测量原理，在衍射场放置有特别标志的毛玻璃做为衍射图样接收屏，由面阵CCD采集接收屏上包含特别标志的衍射图样，经计算机上专门研制的软件完成定标和衍射图样信息获取，从而自动实现微小圆孔尺寸及圆度的同时测量，装置测试量程（微小圆孔直径）为0.005mm~0.5mm。

主权项

一种微小圆孔尺寸及圆度同时测量的装置，其特征在于：包括He‑Ne激光器、被测圆孔及夹持器、带标志玻璃接收屏、信息采集装置、信息处理装置，其中的He‑Ne激光器、被测圆孔及夹持器、带标志玻璃接收屏及信息采集装置由二维可调装置承载并置于光学平台上，其中夹持待测微小圆孔的为精密二维可调整装置，通过调整保证它们的中心基本在一条直线上，被测圆孔及夹持器及带标志玻璃接收屏表面平行并与上述直线垂直，数据采集前通过精密调整和判断，使He‑Ne激光器发出的高准直度激光通过待测微孔所产生的衍射光斑中心与玻璃接收屏标志的中心一致达到对准和准直要求。