[实用新型]半导体清洗设备中的抽风装置有效
| 申请号： | 201220219711.4 | 申请日： | 2012-05-16 |
| 公开（公告）号： | CN202638839U | 公开（公告）日： | 2013-01-02 |
| 发明（设计）人： | 卡尔·罗伯特·休斯特 | 申请（专利权）人： | 硅密（常州）电子设备有限公司 |
| 主分类号： | B08B15/04 | 分类号： | B08B15/04 |
| 代理公司： | 常州市科谊专利代理事务所 32225 | 代理人： | 孙彬 |
| 地址： | 213031 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种半导体清洗设备中的抽风装置，它包括带有排风口的抽风箱，抽风箱上可拆卸式地连接有抽风体，该抽风体上具有环绕在化学槽槽口周边的内壁，并且该内壁上均布有若干抽风口。本实用新型缩短了抽风口与化学槽口的距离，抽风效果更好，有害气体不会散开出来，影响到工作环境中，导致人受到有毒气体的伤害，本实用新型的抽风体为可拆卸式地连接，方便了抽风体内部的清洁。 | ||
| 搜索关键词： | 半导体 清洗 设备 中的 抽风 装置 | ||
【主权项】：
一种半导体清洗设备中的抽风装置，包括带有排风口（1‑1）的抽风箱（1），其特征在于：抽风箱（1）底部开有导流孔（1‑2），抽风箱（1）上装有可拆卸式的抽风体（2），该抽风体（2）上具有环绕在化学槽（3）槽口周边的内壁，并且该内壁上均布有若干抽风口（2‑1）。
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