[实用新型]一种具有降温功能的法拉第屏蔽装置及等离子体处理设备有效
| 申请号： | 201220224035.X | 申请日： | 2012-05-15 |
| 公开（公告）号： | CN202616187U | 公开（公告）日： | 2012-12-19 |
| 发明（设计）人： | 许颂临;左涛涛;罗伟义;徐朝阳;倪图强;张亦涛 | 申请（专利权）人： | 中微半导体设备（上海）有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32 |
| 代理公司： | 隆天国际知识产权代理有限公司 72003 | 代理人： | 吴世华;冯志云 |
| 地址： | 201201 上海市浦东新*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种具有降温功能的法拉第屏蔽装置，其包括：一法拉第屏蔽板；以及一放置于所述法拉第屏蔽板之上或插入所述法拉第屏蔽板内部的导热部件，其中，所述导热部件内装有冷却液，所述导热部件至少包括一输入接口以及一输出接口，用于输入及输出冷却液。本实用新型通过增加一个导热部件，降低法拉第屏蔽板上的温度，从而解决法拉第屏蔽装置往往在工作中容易升温的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 具有 降温 功能 法拉第 屏蔽 装置 等离子体 处理 设备 | ||
【主权项】：
一种具有降温功能的法拉第屏蔽装置，其包括：一法拉第屏蔽板；以及一放置于所述法拉第屏蔽板之上或插入所述法拉第屏蔽板内部的导热部件，其特征在于，所述导热部件内装有冷却液，所述导热部件至少包括一用于输入冷却液输入接口以及一用于输出冷却液输出接口。
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