[实用新型]真空启闭机构有效
申请号: | 201220224217.7 | 申请日: | 2012-05-17 |
公开(公告)号: | CN202610315U | 公开(公告)日: | 2012-12-19 |
发明(设计)人: | 郭远伦;李思述;范振华;刘惠森 | 申请(专利权)人: | 东莞宏威数码机械有限公司 |
主分类号: | C23C14/56 | 分类号: | C23C14/56;H01L31/18 |
代理公司: | 广州三环专利代理有限公司 44202 | 代理人: | 张艳美;郝传鑫 |
地址: | 523000 广东省东莞市南城*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本实用新型公开一种真空启闭机构包括阀体、纵向驱动机构、斜楔、一对阀板、一对真空腔室及一对滚子机构;所述纵向驱动机构输出端密封地伸入所述阀体内与所述斜楔连接;所述斜楔两侧面分别开设有第一燕尾槽;所述阀板对称地设置于所述斜楔的两侧,所述阀板的内侧面设有第二燕尾槽;所述第一燕尾槽与所述第二燕尾槽滑动配合,所述阀体两侧开设有相互连通的开口,所述真空腔室设置于所述阀体的两侧且分别与所述开口连通;其中一所述阀板开设有两侧相贯通的通气孔,所述阀板封闭所述开口时,所述通气孔与对应的所述开口连通,所述滚子机构可承载并引导所述阀板水平移动而封闭或打开所述开口。本实用新型具有能正反向密封,密封性能好的优点。 | ||
搜索关键词: | 真空 启闭 机构 | ||
【主权项】:
一种真空启闭机构,适用于对太阳能基板的镀膜或封装生产,其特征在于:包括阀体、纵向驱动机构、斜楔、一对阀板、一对真空腔室及一对滚子机构,所述纵向驱动机构安装于所述阀体的上端,且输出端密封地伸入所述阀体内与所述斜楔连接,所述斜楔截面呈上大下小的等腰梯形结构,且两侧面分别开设有呈凸形的第一燕尾槽,所述阀板对称地设置于所述斜楔的两侧,所述阀板的内侧面为与所述斜楔相配合的斜面,且设有呈凹形的第二燕尾槽,所述第一燕尾槽与所述第二燕尾槽滑动配合,所述阀体两侧开设有相互连通的开口,所述真空腔室设置于所述阀体的两侧且分别与所述开口连通,所述阀板的外侧面设有第一密封圈,所述第一密封圈可与所述开口四周密封地抵触,其中一所述阀板开设有两侧相贯通的通气孔,所述阀板封闭所述开口时,所述通气孔与对应的所述开口连通,所述滚子机构分别安装于所述阀体的内底部两端,且可承载并引导所述阀板水平移动而封闭或打开所述开口。
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