[实用新型]一种碱性蚀刻线氨氮排放控制装置有效
申请号: | 201220224939.2 | 申请日: | 2012-05-18 |
公开(公告)号: | CN202655172U | 公开(公告)日: | 2013-01-09 |
发明(设计)人: | 刘棠方 | 申请(专利权)人: | 深圳市航盛电路科技股份有限公司 |
主分类号: | B05B15/04 | 分类号: | B05B15/04;B05B13/02 |
代理公司: | 深圳市科吉华烽知识产权事务所(普通合伙) 44248 | 代理人: | 黄震 |
地址: | 518000 广东省深*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本实用新型涉及一种碱性蚀刻线氨氮排放控制装置,包括传送生产板件的传送单元、喷淋碱性液体的喷淋单元,在所述喷淋单元的出口设置向所述生产板件吹气流的风刀,所述风刀的气流方向与所述生产板件移动的方向的角度大于90度。本实用新型一种碱性蚀刻线氨氮排放控制装置,成本低、消除生产板件上碱性液体的效果明显。 | ||
搜索关键词: | 一种 碱性 蚀刻 线氨氮 排放 控制 装置 | ||
【主权项】:
一种碱性蚀刻线氨氮排放控制装置,包括传送生产板件的传送单元、喷淋碱性液体的喷淋单元,其特征在于,在所述喷淋单元的出口设置向所述生产板件吹气流的风刀,所述风刀的气流方向与所述生产板件移动的方向的角度大于90度。
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