[实用新型]一种硅片裝卸篮设备

摘要

本实用新型涉及一种硅片裝卸篮设备，包括：料盒上下马达，料盒，第一传感器，吹气装置，真空吸盘，碳纤维板，旋转气缸，上下气缸，旋转马达，滑轮，皮带，第二传感器，花篮上下马达，花篮，其中：碳纤维板安装在旋转气缸上，碳纤维板上安装两组真空吸盘，该上下气缸使旋转气缸和碳纤维板一起上升和下降，该旋转气缸使碳纤维板旋转移动；在料盒上部的两侧分别安装第一传感器和吹气装置，第一传感器检测硅片的上升高度，吹气装置吹气使层叠的硅片分开，第二传感器安装在皮带传送硅片进入花篮的篮齿方向的一侧，检测到有硅片插入到花篮的篮齿上时发出使花篮上下马达向上移动的信号，花篮上下马达接到该信号后向上移动一个篮齿齿距的距离。

主权项

一种硅片裝卸篮设备，其包括：料盒上下马达，料盒，第一传感器，吹气装置，真空吸盘，碳纤维板，旋转气缸，上下气缸，旋转马达，滑轮，皮带，第二传感器，花篮上下马达，花篮，其特征在于：将旋转气缸的定子部分和上下气缸垂直连接，将碳纤维板固定安装在旋转气缸的转子部分上，在碳纤维板上安装两组真空吸盘，一组安装在碳纤维板的一侧下方，另一组安装在碳纤维板的相对侧下方，每组包含2个或更多个真空吸盘，该真空吸盘用于吸取硅片，该上下气缸用于使旋转气缸、碳纤维板和真空吸盘一起上升和下降，该旋转气缸用于使碳纤维板和真空吸盘一起旋转移动并且往返旋转180°；料盒位于一组真空吸盘的下方，其以可卸载方式安装在料盒上下马达上，在料盒上部的两侧分别安装第一传感器和吹气装置，该第一传感器用于检测硅片的上升高度并且当达到预定高度时发出使料盒上下马达停止的信号，该吹气装置用于在料盒上下马达停止时吹气使层叠的硅片分开，旋转马达、滑轮和皮带被安置在另一组真空吸盘的下方，花篮和花篮上下马达被安置在皮带传送方向的一侧并且花篮以可卸载方式安装在花篮上下马达的上方，第二传感器安装在皮带传送硅片进入花篮的篮齿方向的一侧且距离花篮20‑50mm处，用于检测到有硅片插入到花篮的篮齿上时发出使花篮上下马达向上移动的信号，该花篮上下马达接到该向上移动的信号后向上移动一个篮齿齿距的距离。