[实用新型]具有MEMS器件的装置有效
| 申请号： | 201220233459.2 | 申请日： | 2012-05-23 |
| 公开（公告）号： | CN202705026U | 公开（公告）日： | 2013-01-30 |
| 发明（设计）人： | G.亨 | 申请（专利权）人： | 埃普科斯股份有限公司 |
| 主分类号： | B81B7/00 | 分类号： | B81B7/00 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 杜荔南;刘春元 |
| 地址： | 德国*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | 具有MEMS器件的装置。提出一种装置和用于具有至少一个MEMS器件的装置的制造方法，所述装置包括封装，该封装密封地包围MEMS器件并且相对于环境影响密封。该封装作为密封体包括借助于功能组聚合的全氟聚醚构成的PFPE层。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 mems 器件 装置 | ||
【主权项】：
具有至少一个MEMS器件的装置，－ 包括至少包围MEMS器件并且相对于周围环境密封的封装，－ 其中所述封装作为密封体包括由借助于功能组聚合的全氟聚醚构成的PFPE层。
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