[实用新型]硅片检测装置有效
| 申请号： | 201220243184.0 | 申请日： | 2012-05-25 |
| 公开（公告）号： | CN202600164U | 公开（公告）日： | 2012-12-12 |
| 发明（设计）人： | 陈光 | 申请（专利权）人： | 浚鑫科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G01V8/12 | 分类号： | G01V8/12 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 王宝筠 |
| 地址： | 214443 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型实施例提供一种硅片检测装置，所述硅片检测装置包括：用于发射光线的光发射装置和设置于用于接收所述光发射装置发射的光线的光接收装置；其中，所述光发射装置位于待检测硅片的一侧，所述光接收装置位于所述硅片的另一侧。本实用新型实施例提供的硅片检测装置，通过在硅片的两侧设置光发射装置和光接收装置，避免了硅片吸光对硅片检测准确度的影响，提高了硅片检测的准确度，从而能够保证印刷台的硅片承载装置正确地进行初始化和承载硅片的操作，避免了承载装置误操作导致硅片破碎，降低了硅片从检测板传送至硬线丝网印刷机的过程中的碎片率。 | ||
| 搜索关键词： | 硅片 检测 装置 | ||
【主权项】：
一种硅片检测装置，其特征在于，所述硅片检测装置包括：用于发射光线的光发射装置和用于接收所述光发射装置发射的光线的光接收装置；其中，所述光发射装置位于待检测硅片的一侧，所述光接收装置位于所述硅片的另一侧。
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