[实用新型]多晶硅还原炉有效
| 申请号： | 201220248914.6 | 申请日： | 2012-05-30 |
| 公开（公告）号： | CN202717591U | 公开（公告）日： | 2013-02-06 |
| 发明（设计）人： | 吴海龙;程佳彪;张华芹;周积卫;茅陆荣 | 申请（专利权）人： | 上海森松新能源设备有限公司 |
| 主分类号： | C01B33/035 | 分类号： | C01B33/035 |
| 代理公司： | 北京汇泽知识产权代理有限公司 11228 | 代理人： | 张秋越 |
| 地址： | 201323 上海*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种多晶硅还原炉，包括：炉壳体，其底部设置有底盘，底盘上开设有多个电极孔、至少一进气孔和至少一出气孔，其中，电极孔以进气孔为中心呈正多边形排列，电极孔位于正多边形的顶点；多个电极，分别设于电极孔中，电极上连接有硅棒；至少一进气管，连接于进气孔；至少一出气管，连接于出气孔。本多晶硅还原炉由于混合气进气管位于电极组成的正多边形中心,混合气出气管均匀分布在底盘上,所以工艺气体能均匀地扩散到正多边形顶点的硅棒表面,生成的多晶硅也更加均匀。 | ||
| 搜索关键词： | 多晶 还原 | ||
【主权项】：
一种多晶硅还原炉，其特征在于，包括：炉壳体，其底部设置有底盘，所述底盘上开设有多个电极孔、至少一进气孔和至少一出气孔，其中，所述电极孔以所述进气孔为中心呈正多边形排列，所述电极孔位于所述正多边形的顶点；多个电极，分别设于所述电极孔中，所述电极上连接有硅棒；至少一进气管，连接于所述进气孔；至少一出气管，连接于所述出气孔。
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