[实用新型]平面摆式干涉仪

摘要

平面摆式干涉仪，包括光源，光源后的光路上依次设有将光源发出的光准直为平行光的第一准直镜，以及将平行光分成两束光的分束器，两束光一束为反射光，另一束为透射光，于分束器一侧的反射光的光路上，依次设有将反射光反射到第一角镜的第一平面镜，以及将反射光原路反射回分束器的第一角镜，于分束器另一侧的透射光的光路上，依次设有将透射光反射到第二角镜的第二平面镜，以及将透射光原路反射回分束器的第二角镜，第一角镜和第二角镜之间设有能够转动的扭曲轴承，使第一角镜和第二角镜摆动产生光程差，于分束器另一侧形成干涉光，分束器另一侧设有将干涉光汇聚到探测器的焦点上的第二准直镜。本实用新型光学效率相对提高1.33倍，稳定性好。

主权项

一种平面摆式干涉仪，其特征在于，包括光源，所述光源后的光路上依次设有将光源发出的光准直为平行光的第一准直镜，以及将所述平行光分成两束光的分束器，所述两束光一束为反射光，另一束为透射光，于所述分束器一侧的所述反射光的光路上，依次设有将所述反射光反射到第一角镜的第一平面镜，以及将所述反射光原路反射回所述分束器的所述第一角镜，于所述分束器另一侧的所述透射光的光路上，依次设有将所述透射光反射到第二角镜的第二平面镜，以及将所述透射光原路反射回所述分束器的所述第二角镜，所述第一角镜和第二角镜之间设有能够转动的扭曲轴承，使所述第一角镜和第二角镜摆动产生光程差，反射回所述分束器的反射光与透射光于所述分束器另一侧形成干涉光，所述分束器另一侧设有将所述干涉光汇聚到探测器的焦点上的第二准直镜。